某半导打造厂家因晶圆擦拭生产工序制造含氨焦化废水，用水量200吨/天。焦化废海里除氯离子外还有氟化物和氢化物发生器巨资属，治理 困难程度大。本土排卸标淮要氯离子＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 污废水 组分及来源地 晶圆洗废液（基本渠道）：含氟化物200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀步骤生活污水：含轻微铜、镍等血本属，pH值震荡大 CMP碾磨废水处理方法：含硅顆粒及挥发酚 解决制作工艺方法 采用了"电化学沉定+膜隔离+折点氯化"组合公式工艺流程： 预办理 ：污泥脱水CaCl2除氟，把握pH在7.5-8. 反渗透装置系统的 ：剔除0.01μm上颗料物 反构建浓缩提炼 ：将氧化还原电位果汁至1000mg/L之内 折点氯化 ：小于掌控氯添加量，将高锰酸盐指数转化率为离氮气 铁离子置换 ：保险高价属合格 决定性成效 化学需氧量平稳＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属浓度最低论文检测限 水回收率达75% 污水发生量抑制40%