某半导体器件电子器件研发厂在晶圆工艺阶段中,食用硅烷通过硅外延性的生长,氮氧化合物洗滌塔发生高密度含硅生活污水治理。生活污水治理具备着pH浮动大(2-11)、硅占比高的性能,传统型治理的办法易发生硅垢堵死事情。
工业废水成份及起源
污水包括化学物质为:
分解性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢腐蚀钠
:洗滌塔酸碱平衡洗滌液存留
科粒硅
:微米级SiO₂固体
痕量砷
:物料硫氰酸盐带进
解决工艺设备的流程
全新进行"多级中合+膜过滤器+减压蒸馏成果"的工艺:
三级与
:用CaO设定pH至4-5,生成二维码硅酸钙积累,硅洗去率60%。
五级中合
:加Na₂CO₃将pH加强至9,进1步发展多余硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透膜程序
:0.02μm瓷质膜脱水納米级硅小粒,通量安稳在80LMH。
MVR空调蒸发器器
:沉淀高盐工业废水,结晶体出Na₂SO₄副车辆,水回收率超90%。
最终能够作用
总硅从1500mg/L调至5mg/L有以下
砷浓度从0.8mg/L降低0.01mg/L
整体无结渣运转突破2年
每季度收旧氢氧化钾钠单晶体约800吨