该晶圆工作我们坐落于西北地方,常见工作8寸大半导体设备晶圆,每日污废水 排卸量约800吨。因工作过程中 中用大批氢佛酸采取晶圆蚀刻,出现污废水 中氟化物浓度值高达模型200-300mg/L,远超国家的排卸规格(10mg/L以内)。
电镀废水组分及來源
化工废水主要是源于6个缓解:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高氨水浓度氟化物(HF)、硝酸钠及少许血本属
化学上机器打蜡 (CMP)废渣
:含微米级硅颗粒状、充分络合剂
主设备清洁工作废水处理工艺
:含异丙醇、化学需氧量等有机质物
鑫霖环保设备标准流程
所采用"化学上石雕文化石雕文化沉淀+水泥混凝土石雕文化石雕文化沉淀+深度1滤过"3级处理系统化:
6级净化处理
:添加氯化钙和氢空气氧化钙,确立氟化钙沉淀物,氟化物避开率达85%
三级处里
:增长PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(PP酰胺),的还原固体态环保问题物
三级分销工作
:用多物质管道过滤器器和活力性炭降解,溢水氟化物有机废气浓度稳定性高在8mg/L以內
最为关键的设计比如:pH自功调控设计、斜管结晶池、板框活性污泥压滤机(活性污泥缺水)。
结果英文特效
新项目运营5年检测数据库提示 :
氟化物的平均有机废气浓度:7.2mg/L(不高于国家地区条件)
COD清除率:92%
淤泥含水量率:≤65%
年收购氟化钙副产物设备约150吨,保证 影视污泥处置用