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某门头半导创造工业客户为于长三边形位置,通常生孩子晶圆和治理器。在生孩子时候中,晶圆激光切割和镜面抛光时候产生了广泛抛光液污废水 ,平均排缩量上涨量约50吨。会因为污废水 中具有刺激性高氧化还原电位悬浮按钮物、五金铝离子及生产更改剂,同时排缩量上涨会对场景导致严重性环保问题,工业客户紧缺设计靠谱治理基础设施。
废渣含量及渠道
考虑液废水处理工艺最最主要的最主要的来出于晶圆处理中的普通设备设备打磨(CMP)工作,最最主要的生态破坏物具有:
飘浮颗粒状物
:二脱色的硅、脱色的铝等精磨粒子,孔径在0.1-1μm,有机废气浓度达到2000mg/L。
彩石铁离子
:铜、铁、锌等,产于抛光处理垫受到磨损及晶圆表面层合金层,铜铁离子溶液浓度约50mg/L。
有机肥料增多剂
:也包括表层活力性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强是碱性的材料
:pH值波动性大,一般性在2-11区间内。
补救加工过程流程图
根据废水工作方法特征,主要包括“规范化工作这一方面+生物化学+广度工作”团体艺:
的调节池
:教育均衡发展污水水质蓄水量,插入酸碱平衡的调节pH至中性化。
混凝土滤渣
:污泥脱水PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),我们要除漂浮物和溶液,沉降后SS我们要除率>90%。
促使氧化反应
:采用了Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)吸附无机含有剂,COD我们要除率达60%。
生物学净化处理
:MBR膜生物制品发生反应器逐渐一个脚印化学降解用不完生产物,COD减少为100mg/L如下。
铝离子互转
:转用硅胶粘合剂离心分离铜铁离子,满水后铜纯度<0.5mg/L。
砂滤+活性酶类炭滤出
:确认出水量清新,高达《污水管道综合性尾气排放规则规则》(GB8978-1996)1阶段规则。
终于功效
模式启用稳定性后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。
循环率达40%,其他符合标准尾气摆放,年下降生产废水尾气摆放1.八万吨。
进行处理成本费用约15元/吨,远高出的行业分別。